Traitements optiques VIS --> MIR
Les couches minces optiques sont utilisées dans un très grand nombre de secteurs avec des surfaces à traiter qui peuvent être parfois très grandes (le spatiale, l’aéronautique, les bâtiments) ou au contraire sur des surfaces qui peuvent être très réduites (échelles micrométriques dans le traitement de dispositifs photoniques). Dans ce cas, il est souvent nécessaire d’atteindre des réflectivités qui soient très élevées (miroir de Bragg ou DBR avec R > 99%) ou à l’inverse des réflectivités très faibles (antireflet ou AR avec R < 1%).
Depuis 20 ans la plateforme nanoRennes a développé un savoir-faire dans la réalisation de ces traitements optiques et dans leurs structurations à des dimensions micrométriques. Ci-dessous des exemples de spectres de réflectivité de différents traitements optiques tous développés au sein de nanoRennes pour des applications allant du visible au moyen infra-rouge. Ces filtres optiques ont été développés en réponse à des projets hébergés par l’Insitut FOTON ou dans le cadre de prestations externes. Les techniques de dépôt mises en œuvre pour de telles traitements sont la PECVD ou la pulvérisation cathodique magnétron.
Pour concevoir et réaliser ces traitements optiques la plateforme nanoRennes dispose de moyens de modélisations des empilements de couches minces et de nombreux outils de caractérisations permettant la maitrise des épaisseurs et des indices de réfraction des matériaux déposés. L’avantage majeure de ces traitements optiques via l’empilement de matériaux diélectriques reposent avant tout sur la possibilité d’obtenir des forts contrastes d’indice dans les empilements réalisés. Ceci permet d’atteindre des largeurs de bandes pour les DBR qui sont élevées tout en conservant une épaisseur globale des empilements qui reste raisonnable et compatible avec les contraintes mécaniques des couches minces déposées.
Exemples de réalisations
