NanoRennes est la plateforme technologique de référence, dans le grand ouest, du réseau RENATECH+. Sa surface se déploie sur environ 300 m² de salles blanches auxquelles il faut ajouter environ 500 m² de salles grises. Les zones blanches sont de classe 1000 (ISO6) ou de classe 100 (ISO5) pour les zones sensibles. Elles sont au nombre de 3 :
Une salle blanche (130 m²) dédiée aux technologies III-V et à la nanophotonique (hébergée sur le site de l’Institut FOTON équipe OHM)
Une salle blanche (120 m²) dédiée aux technologies microélectroniques Si (hébergée sur le site de l’IETR – équipe OASiS)
Une plateforme (80m²) dédiée aux technologies organiques (hébergé sur le site de l’IETR – équipe OASiS)
Équipements de dépôt, gravure, photolithographie et packaging
nanoRennes - Site IETR
La composante nanoRennes localisée à l’IETR est située dans le bâtiment 11B de l’Université de Rennes 1 (Campus de Beaulieu). Sur le site de l’IETR, les activités sont centrées sur la réalisation de dispositifs à base de composés silicium et/ou organique. Son savoir-faire couvre un large spectre d’applications allant du composant électronique actif ou passif sur différents types de substrats (silicium, verre, polymères…) à la microfluidique. Ses infrastructures et ces principaux équipements (représentées ci-dessous) sont répartis en clusters, par spécificités et sous la responsabilité d’un personnel de l’IETR.